我国机械工业集团公司所属沈阳外表院“高性能硅电容差压传感器”项目日前顺畅经过检验。该项目是沈阳外表院承当的2007年度企业技术立异方案项目。该项目开发了一种适用于智能工业变送器用硅电容差压传感器的规划和工艺技术，在硅电容中心结构规划、电容封装工艺及传感器封装结构方面有立异，有效地处理了硅电容传感器研发的工艺配备难题。该项目完成后，将完成年产10万只传感器芯片，1.5万台传感器的生产能力，年产值达1000万元，产品可大规模的应用于航空、航天、石油化学工业、动力电力、冶金、机械、电子、环保等一切的范畴。