电感式压力传感器的工作原理是由于磁性材料和磁导率不相同,当压力作用于膜片时,气隙大小发生改变,气隙的改变影响线圈电感的变化,处理电路能把这个电感的变化转化成相应的信号输出,进而达到测压的目的。这一种压力传感器按磁路变化能分为两种:变磁阻和变磁导。电感式压力传感器的优点是灵敏度高、测量范围大;缺点在于不能应用于高频动态环境。
电容式传感器分为极距变化型、面积变化型,当被测参数的变化通过这三种情况之一直接影响电容量的大小时,检测出电容的变化时就等于获得了被测参数的大小,电容式压力传感器常采用极距变化型。压力使传感器唯一的可动部件即测量膜片产生微小的位移,造成与固定所形成的电容量发生变化。
为提高灵敏度和减小非线性,大多压力传感器休用双电容平板差劲结构,可动位于两块固定板极之间,与两固定等距离,当压力使可动向上移动时,引起差动电容增大,减小。
与单电容式压力传感器相比,不仅灵敏度提高,非线性误差也变小了,可见差动式压力传感器优于单电容压力传感器。
变磁阻式压力传感器主要部件是铁芯跟膜片。它们跟之间的气隙形成了一个磁路。当有压力作用时,气隙大小改变,即磁阻发生了变化。如果在铁芯线圈上加一定的电压,电流会随气隙的变化而变化,从而测量出压力。
在磁通密度高的场合,铁磁材料的导磁率不稳定,这样的一种情况下能够使用变磁导式压力传感器测量。变磁导式压力传感器用一个可移动的磁性元件替代铁芯,压力的变化导致磁性元件的移动,从而磁导率发生改变,由此得出压力值。